該系統(tǒng)采用帶背光寬溫點(diǎn)陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文,功能多而實(shí)用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯(cuò)誤。該系統(tǒng)無需預(yù)熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn)使得系統(tǒng)在短短一秒鐘內(nèi)就能開始控制真空鍍膜過程系統(tǒng)的流量，實(shí)時(shí)測(cè)量顯示質(zhì)量流量、體積流量、 壓力和溫度參數(shù)， 并將運(yùn)用溫度與壓力對(duì)流量參數(shù)進(jìn)行充分補(bǔ)充。氣體模塊程序直接通過質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏蒂按鈕操作切換氣體種類。

　　該系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn)有：

　　1、地定量控制流量：

　　該儀器可以有效地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

 

　　2、適用范圍寬：

　　有很寬的工作壓力范圍，我們的系統(tǒng)可以從真空直到10MPa；可以適用于多種氣體介質(zhì)；有很寬的流量范圍，我們的系統(tǒng)小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%，流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為--50:1），因此質(zhì)量流量控制系統(tǒng)在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

 

　　3、流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)：

　　對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計(jì)。

 

　　4、測(cè)量控制的自動(dòng)化：

　　該系統(tǒng)可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制系統(tǒng)而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，該系統(tǒng)能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接，進(jìn)行自動(dòng)控制。